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探頭

量程

低端
分辨率

誤差

zui小曲率半徑
（凸/凹）

zui小測量
區域直徑

zui小基
體厚度

探頭尺寸

磁
感
應
法

F05

0-500um

0.1um

±（1%±0.7um）

1/5mm

3mm

0.2mm

φ15x62mm

F1.6

0-1600um

0.1um

±（1%±1um）

1.5/10mm

5mm

0.5mm

φ15x62mm

F1.6/90

0-1600um

0.1um

±（1%±1um）

平面/6mm

5mm

0.5mm

φ8x8x170mm

F2/90

0-2000um

0.2um

±（1%±1um）

平面/6mm

5mm

0.5mm

φ8x8x170mm

F3

0-3000um

0.2um

±（1%±1um）

1.5/10mm

5mm

0.5mm

φ15x62mm

F10

0-10mm

5um

±（1%±10um）

5/16mm

20mm

1mm

φ25x46mm

F20

0-20mm

10um

±（1%±10um）

10/30mm

40mm

2mm

φ40x66mm

F50

0-50mm

10um

±（3%±50um）

50/200mm

300mm

2mm

φ45x70mm

兩
用
 

FN1.6

0-1600um

0.1um

±（1%±1um）

1.5/10mm

5mm

F0.5mm/N50um

φ15x62mm

FN1.6P

0-1600um

0.1um

±（1%±1um）

平面

30mm

F0.5mm/N50um

φ21x89mm

FN2

0-2000um

0.2um

±（1%±1um）

1.5/10mm

5mm

F0.5mm/N50um

φ15x62mm

電
渦
流
法

N02

0-200um

0.1um

±（1%±0.5um）

1/10mm

2mm

50um

φ16x70mm

N.08Cr

0-80um

0.1um

±（1%±1um）

2.5mm

2mm

100um

φ15x62mm

N1.6

0-1600um

0.1um

±（1%±1um）

1.5/10mm

2mm

50um

φ15x62mm

N1.6/90

0-1600um

0.1um

±（1%±1um）

平面/10mm

5mm

50um

φ13x13x170mm

N2

0-2000um

0.2um

±（1%±1um）

1.5/10mm

5mm

50um

φ15x62mm

N2/90

0-2000um

0.2um

±（1%±1um）

平面/10mm

5mm

50um

φ13x13x170mm

N10

0-10mm

10um

±（1%±25um）

25/100mm

50mm

50um

φ60x50mm

N20

0-20mm

10um

±（1%±50um）

25/100mm

70mm

50um

φ65x75mm

N100

0-100mm

100um

±（1%±0.3mm）

100mm/平面

200mm

50um

φ126x155mm

CN02

10-200um

0.2um

±（1%±1um）

平面

7mm

無限制

φ17x80mm